នៅក្នុងដំណើរការប្លាស្មាទៅគីមីចំហាយ Deposition (PECVD) ការតភ្ជាប់អគ្គិសនីនីមួយៗ ចាប់ពីការបញ្ជូនថាមពល RF រហូតដល់ការគ្រប់គ្រងឧស្ម័នដំណើរការ ប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ទៅលើឯកសណ្ឋាននៃការដាក់ស្រទាប់ស្តើង និងទិន្នផលបន្ទះឈីប។ ប្រឈមមុខនឹងបរិស្ថានដ៏អាក្រក់នៃឧបករណ៍ខ្នាតតូច កន្លែងទំនេរខ្ពស់ និងការជ្រៀតជ្រែកអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចខ្លាំងវ៉ាហ្គោឧបករណ៍ភ្ជាប់ picoMAX® ជាមួយនឹងគុណសម្បត្តិស្នូលទាំងបីរបស់វាគឺ "ភាពតូច ភាពជឿជាក់ និងប្រសិទ្ធភាព" បានក្លាយជាដំណោះស្រាយតភ្ជាប់ដ៏ល្អសម្រាប់ប្រព័ន្ធ PECVD។
ការរចនាបង្រួមប្រកបដោយភាពច្នៃប្រឌិត
ការសម្របខ្លួនទៅនឹងប្លង់បន្ទប់ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់
ទំហំខាងក្នុងនៃឧបករណ៍ PECVD មានកំណត់ ដែលតម្រូវឱ្យមានការរៀបចំយ៉ាងក្រាស់នៃខ្សែថាមពល សញ្ញា និងខ្សែចាប់សញ្ញានៅជុំវិញបន្ទប់ប្រតិកម្ម។ picoMAX® ប្រើប្រាស់ការរចនាស្ព្រីងតែមួយ ដំណើរការពីរ ជាមួយនឹងជម្រៅម្ជុលច្រើន 3.5/5.0/7.5 ម.ម។ បន្ទាប់ពីភ្ជាប់គ្នា វាមានទំហំតិចជាងផលិតផលមុនៗ 30% ដែលសម្របខ្លួនបានយ៉ាងល្អឥតខ្ចោះទៅនឹងតម្រូវការខ្សែភ្លើងនៅជុំវិញបន្ទប់។ ឧបករណ៍ភ្ជាប់ប្រភេទរន្ធរបស់វាត្រូវបានបង្កប់ស្ទើរតែទាំងស្រុងនៅក្នុងក្បាលម្ជុល ដែលគាំទ្រដល់ការផ្គុំចំហៀងដោយមិនបាត់បង់បង្គោល ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំងនូវការប្រើប្រាស់បន្ទះសៀគ្វី និងអនុញ្ញាតឱ្យមានការរៀបចំខ្សែសញ្ញា និងខ្សែថាមពលដោយមានរបៀបរៀបរយដោយមិនជ្រៀតជ្រែកជាមួយវាលលំហូរឧស្ម័នដំណើរការ។
ការការពារដ៏រឹងមាំប្រឆាំងនឹងលក្ខខណ្ឌប្រតិបត្តិការធ្ងន់ធ្ងរ
ដំណើរការ PECVD ពាក់ព័ន្ធនឹងបរិយាកាសសុញ្ញកាសខ្ពស់ ប្លាស្មាប្រេកង់ខ្ពស់ និងរំញ័រ ដែលដាក់ការទាមទារយ៉ាងតឹងរ៉ឹងលើភាពជឿជាក់នៃឧបករណ៍ភ្ជាប់។ picoMAX® មានរចនាសម្ព័ន្ធដែលមានស្ថេរភាពជាមួយនឹងភាពធន់នឹងរំញ័ររហូតដល់ 12g ដែលការពារការរលុងនៃការតភ្ជាប់ដែលបណ្តាលមកពីរំញ័រប្រេកង់ខ្ពស់។ វាក៏រួមបញ្ចូលការរចនាប្រឆាំងនឹងការបញ្ចូលខុស និងឧបករណ៍ចាក់សោផងដែរ ដែលលុបបំបាត់កំហុសក្នុងការដំឡើង និងការពារការផ្តាច់ដោយចៃដន្យ ដែលធានាបាននូវប្រតិបត្តិការឧបករណ៍ជាបន្តបន្ទាប់ដោយគ្មានពេលវេលារងចាំ។
ការតភ្ជាប់រហ័សដោយមិនប្រើឧបករណ៍
picoMAX® មានបច្ចេកវិទ្យាភ្ជាប់រហ័សដោយមិនចាំបាច់ប្រើឧបករណ៍ ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានការតភ្ជាប់ "ដោតហើយកាន់" សម្រាប់ខ្សែទាំងខ្សែតែមួយ និងខ្សែច្រើនជាមួយនឹងឧបករណ៍ភ្ជាប់ដែលចុចត្រជាក់។ ការតភ្ជាប់ខ្សែភ្លើងស្មុគស្មាញត្រូវបានបញ្ចប់ក្នុងមួយជំហាន ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំងនូវប្រសិទ្ធភាពនៃការផ្គុំ និងកាត់បន្ថយវដ្តបំបាត់កំហុស។ ការរចនាម៉ូឌុលគឺឆបគ្នាជាមួយដំណើរការផ្សារឡើងវិញ ដែលបំពេញតម្រូវការកាត់បន្ថយថ្លៃដើមនៃការផលិតដោយស្វ័យប្រវត្តិ។ វាក៏គ្របដណ្តប់លើសេណារីយ៉ូការតភ្ជាប់ PECVD ទាំងអស់ផងដែរ៖ ជម្រេម្ជុល 3.5 ម.ម ផ្ទុកខ្សែសញ្ញា 0.2-1.5 ម.ម² ខណៈពេលដែលជម្រេម្ជុល 5.0/7.5 ម.ម គាំទ្រខ្សែភ្លើង 16A។ វាគាំទ្រវិធីសាស្រ្តដំឡើងខ្សែទៅក្តារ និងឆ្លងកាត់ជញ្ជាំង ឆបគ្នាជាមួយទូត្រួតពិនិត្យ និងខ្សែភ្លើងប្រហោង និងអនុលោមតាមស្តង់ដារសុវត្ថិភាពអគ្គិសនី GB/T 5226.1 ដោយបង្កើតការការពាររឹងមាំសម្រាប់ស្ថេរភាពដំណើរការ។
នៅក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាកន្លែងដែលភាពជាក់លាក់នៃដំណើរការកម្រិតណាណូម៉ែត្រមានសារៈសំខាន់បំផុត ការតភ្ជាប់ដែលអាចទុកចិត្តបានគឺជាការធានានៃទិន្នផលខ្ពស់។វ៉ាហ្គោpicoMAX® ជាមួយនឹងគោលគំនិតរចនាផលិតផលបដិវត្តន៍របស់ខ្លួន សម្រេចបាននូវ "ទំហំតូច ដំណើរការខ្ពស់" ក្នុងទំហំតូច ដោយផ្តល់នូវដំណោះស្រាយការតភ្ជាប់ដែលមានស្ថេរភាព មានប្រសិទ្ធភាព និងប្រើប្រាស់បានយូរសម្រាប់ឧបករណ៍ PECVD។ នេះជួយក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកយកឈ្នះលើបញ្ហាប្រឈមនៃការតភ្ជាប់ដំណើរការដែលមានភាពជាក់លាក់ ដោយការពារភាពជាក់លាក់កម្រិតមីក្រូម៉ែត្រនៃបន្ទះឈីបនីមួយៗ។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៣ ខែមីនា ឆ្នាំ ២០២៦